德圖氣探針又可稱之為微區X射線譜分析儀，實際上就是把高速的電子打在物體上。探針它捕獲的不是電子，它要的是物體受到電子攻擊產生的X線，因為這個X線含有標本的化學成分信息，所以它長用來分析物體里有什么，這樣我們就知道標本里面有多少氫多少氧等等。

　　德圖氣探針是X射線光譜學與電子光學技術相結合而產生的。48年法國的R.卡斯坦制造了臺電子探針儀。58年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結構上有許多共同處。70年代以來生產的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附加另一些附件，使之除作微區成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。

　　德圖氣探針主要包括：探針形成系統(電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統和顯示、記錄系統、樣品室、高壓電源和掃描系統以及真空系統。

　　德圖氣探針有三種基本工作方式：

　　1.點分析用于選定點的全譜定性分析或定量分析，以及對其中所含元素進行定量分析；

　　2.線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；

　　3.面分析用于觀察元素在選定微區內濃度分布。

　　由莫塞萊定律可知，各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長，通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素，這就是探針定性分析的依據。而將被測樣品與標準樣品中元素Y的衍射強度進行對比，就能進行探針的定量分析。當然利用電子束激發的X射線進行元素分析，其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內層電子臨界電離激發能。